4 静电防护基本操作
4.1 防止静电放电破坏基本上就是有效控制、延缓放电时间。
4.2 对于绝缘体与无法作静电接地的导体唯有静电消除器能平衡消除其电荷堆积。
4.3 导体，例如生产机具一定要作接地，接触静电放电敏感产品的操作面则要作静电阻抗接地。
4.4 静电放电敏感产品不要接触金属器械模具，会接触的工作面要以抗静电材料制作。
4.5 会产生静电的必要器材用具要作好隔离管制。
4.6 运送晶圆的塑料晶舟会产生非常强的静电电荷，应该在静电消除器下撕去密封胶带，等待至少10秒钟再打开盖子。
4.7 作业用的晶舟只要移动都要在静电消除器防护之下。
4.8 电子零件很常用到气泡布或泡棉包装，这些包装材料不要带到生产在线，尤其是没有抗静电处理的材料。
5 操作人员的静电防护
5.1 后端的组装线基本上以戴静电接地手环为主，如果地板有静电接地则可用踝环接地带或穿抗静电拖鞋或抗静电工作鞋较为方便安全。
5.2 无尘室的人员一定是选无尘室等级的抗静电工作鞋。
6 静电吸附的污染[9][10]
6.1 有了静电电荷堆积即使没有静电放电也会造成静电吸附污染。
6.2 任何静电电荷堆积的对象所生成的电力场对质量微小的空气悬浮颗粒都有致命的吸引力，尤其是带极性相反电荷的气浮颗粒。
6.3 静电吸附作用造成的污染是无法用一般方法擦拭或吹掉的，而且是愈擦愈脏。
6.4 静电吸附愈小的污染物其吸附力愈大。
6.5 做好无尘室管理防止污染发生，正确的使用静电消除器来保持产品常处在低静电电荷(场)的状态，才能大幅降低静电吸附的污染。
7 静电消除器的选择：[11][12]
7.1 ISO7以下的无尘室里一般以离子风扇的使用较经济，有效面积也较大。
7.2 ISO6以上的无尘室里5cm到30cm短距离则以静电消除排(Bar Ionizer)或静电消除喷气嘴(Nozzle)较合适中距离。
7.3 60cm以上长距离以及ISO5的环境则应选直流，最好是脉波直流电晕放电方式的静电消除器。
7.4 无法吹气的地方可选用无气脉波直流电晕放电方式的静电消除器、软性X光或非常贵的幅射静电消除器。
7.5 真空的环境可使用紫外线静电消除器。
7.6 对自动平衡的静电消除器应针对固定的对象使用，对移动频繁的对象要考虑其自动平衡的延迟可能反而无法有效消除静电。
