静电技术应用与发展方向

二、脉冲静电技术

脉冲静电技术是目前静电理论应用领域中较新的研究方向。在环境、生物等许多领域中都具有很好的应用前景。目前对于脉冲放电产生的非热（非平衡）等离子体的研究较多的是ns级窄脉冲放电的应用。由于窄脉冲放电的特点造成了相应的应用。 
窄脉冲放电的特点： 
1 可以较大幅度提高火化放电电压 
2 使放电电流密度分布均匀 
3 可以节省能量 
4 易于实现更大的瞬时功率 
5 可产生高能电子 
6 可形成非平衡等离子体 
7 可产生更多的活性离子 
8 使一般条件下难以进行的化学反应得以进行 
其应用为： 
1 有害气体污染物（SO2和NOX）的去除 
2 粉尘控制 
3 水处理 
4 臭氧生成 
5 液电效应（粉碎、杀菌等） 
6 材料表面改性 
在去除有害气体应用上，脉冲放电可以使两极间的电流值达到100A/m，产生峰值107/cm3的电子浓度。因此比直流高压放电具有更好的除污作用。目前脉冲放电脱硫脱硝技术虽然在理论上和实验室阶段已经成熟，但是由于一些技术上的原因，也在对其大规模的应用上产生制约。目前作为我国“九五”重点科技攻关项目的脱硫应用，其处理烟气量也只能达=到20000NM3/h。产生制约发展的原因也正是我们今后所要研究的课题方向，它包括基础研 究和应用技术两个方面。  
基础研究方面： 
1 目前无法建立电场、电压、电流等变量间定量关系，有必要建立脉冲电场，脉冲放电特性等的教学模型。 
2 开展等离子体诊断研究方面的工作。以定量确定脉冲放电非等离子体的产生、电子的能量、时间空间的分布、自由基等活性粒子的种类、密度及时空分布。 
3 放电等离子体化学反应动力学过程 
4 脉冲放电非热等离子体应用的理论研究以及进行优化设计。 
应用方面：  
1、ns级开关方式 
2、大功率ns级脉冲高压电源 
3、去除有害气体及其它化学反应的工艺措施

三、电磁干扰  
随着电子微电子技术的发展，ESD（静电放电）危害问题越来越严重。国外已经对ESD电磁场进行全面的研究。上世纪八十年代末国内开始有人关心ESD的场效应，在实验中发现ESD产生的电磁干扰可以导致10米外的电脑死机甚至主板损坏。  
要比较好的理解ESD产生的电磁场，最好的办法是对其进行时域测量。由于涉及到快变化的宽频信号，要求有宽频带的测量系统。由于测试手段的限制，早期对ESD相关电磁场的实验研究仅限于场幅度与放电电压和观测点距离的关系以及频谱分布等定性分析。