半导体器件测量工作中的静电防护技术

摘要：国家实验室审查中对我院晶体管的测量提出了静电防护要求，本文简单阐述半导体器件的测量工作中的静电防护技术。关键词：静电、ESD、静电灵敏等级一、概述：静电是一种电能，它存留于物体表面，是正负电荷在局 ....